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GaAs快速退火炉的产品特点：
1、控制电路采用模糊PID程序控制技术，控温精度高，热惯性小，无温度冲击，性能可靠，操作简单。
2、中真空系统具有真空度上下限自动控制功能。高真空系统采用高压耐冲击分子泵，防止意外漏气损坏分子泵，延长系统使用寿命。
GaAs快速退火炉使用细节：
1、炉子使用或长期不用后，应120℃烘烤1小时，300℃烘烤2小时，以免炉裂。
2、炉温尽量不要超过额定温度，以免损坏加热元件和炉衬。
3、严禁将各种液体和溶解金属直接倒入炉内，保持炉内清洁。
4、如果在炉内使用石英管，当温度高于1000℃时，石英管的高温部分会出现不透明现象，称为失透（也称结晶），是连续熔化石英管的固有缺陷，属正常现象。
5、冷炉在使用时，由于炉子是冷的，需要吸收大量的热量，所以低温段的升温速度不易太快，各温度段升温速度的差异不容易太大。设定升温速度时，应充分考虑烧结材料的物理化学性质，以免出现喷溅污染炉管的现象。
6、定期检查温控系统电气连接部分是否接触良好，特别注意加热元件的连接点是否紧固。
7、GaAs/GaN用快速退火炉使用一段时间后，如果真空度下降，可以更换不锈钢法兰盘之间的耐温硅橡胶圈，或者重新安装不锈钢法兰盘，或者抽真空系统可以更换和维修，以提高系统的整体真空度。
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